日本HORIBA崛场半导体领域微量气体分析仪

日本HORIBA崛场半导体领域微量气体分析仪
日本HORIBA崛场半导体领域微量气体分析仪

产品特点

• 超高灵敏度分析：采用交叉调制方式非分散红外吸收法(NDIR)，实现长期稳定连续测量，达到零漂移。
• 高灵敏度：最小检测限为10 ppb，适合需要高精度的现场使用。
• 纯气体中的微量测量：支持氮气(N₂)、氧气(O₂)、氦气(He)、氩气(Ar)、氢气(H₂)、空气(Air)等代表性气体的微量测量。对于其他基础气体的测量需求，请联系厂家咨询。
• 简单操作，免维护：无需特殊操作，所有操作包括校准和测量都可以在屏幕上完成。采用HORIBA交叉调制方式非分散红外吸收法，无需光学调整，实现免维护。配备彩色触摸屏，液晶屏可显示图表，提高可视性。

应用示例

• 空气分离工厂中的杂质气体监控：工业用气体如氧气和氮气通常由空气分离工厂制造。原料空气(Air)经过去除水分(H₂O)和二氧化碳(CO₂)后，利用沸点差异等方法分离制造氮气(N₂)、氩气(Ar)、氧气(O₂)。一些工厂还生产稀有气体等。这些气体的纯度和质量管理中使用了HORIBA的微量气体分析仪。

测量原理

• 交叉调制式非分散红外吸收法（双光束）：利用一定周期切换的电磁阀，使样品气体和参比气体交替流入同一个气体池，获得调制的被测气体浓度信号。这种方法在样品气体和参比气体相同（零点）时不产生调制信号，且无需使用旋转扇区等机械结构，从而获得长期稳定的输出信号。同时，检测器内的电容麦克风膜片左右移动，获得旋转扇区使用时两倍的信号量，提高信噪比。下图显示了交叉调制式非分散红外吸收法（双光束）的噪声水平，非常低且稳定。这样，在高纯度气体中的微量浓度测量中，也实现了零漂移的长期稳定测量和低噪声水平。